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sem扫描电镜工作原理,扫描电镜的结构和工作原理

来源:整理 时间:2025-07-08 18:15:44 编辑:一表 手机版

在这个过程中,超过99%的入射电子能量被转化为样品热能,而剩余1%的入射电子能量从样品中激发出各种信号。这些信号主要包括二次电子、背散射电子、吸收电子、透射电子、俄歇电子、电子电动势、阴极发光、X射线等。扫描 电镜设备通过这些信号获取信息,从而对样品进行分析。扩展资料:扫描电子显微镜的制造基础是电子与物质的相互作用。

5、 sem和tem的区别

sem与tem的区别如下:1。它们之间的结构差异主要体现在样品在电子束路径上的不同位置。电镜(TEM)透射的样品在电子束中间,电子源在样品上方发射电子,经过聚光镜,然后穿透样品,后续的电磁透镜继续放大电子束,最后投射到荧光屏上。扫描 电镜(SEM)的样品在电子束的末端,样品上方的电子源发出的电子束经过几个电磁透镜缩小后到达样品。

2.基础工作原理Transmission电镜:电子束通过样品时,会与样品中的原子发生散射,同时通过样品上某一点的电子方向不同,使得产品上的这个点在物镜焦距的12倍之间,这些电子经过物镜放大后重新会聚,形成这个点的放大实像,用凸透镜成像。扫描 电镜:电子束到达样品,激发样品中的二次电子。二次电子被探测器接收,显示器上的像素通过信号处理发光。由于电子束斑点的直径为纳米,显示器的像素大于100微米,因此100微米以上的像素发出的光代表样品上电子束激发的区域发出的光。

6、电子 扫描显微镜(SEM

补充匿名81213:43优点:与光学显微镜相比,电子显微镜以电子束为介质,并且由于电子束的波长小于可见光的波长,所以电子显微镜的分辨率远高于光学显微镜。光学显微镜最大放大倍数只有1500倍左右。扫描显微镜可以放大到10000倍以上。扫描电子显微镜有一个重要的特点,是光学显微镜的300倍左右,使得扫描显微镜比光学显微镜更适合观察表面起伏较大的试件。

可以观察阴极荧光图像,分析阴极荧光光谱等。您可以使用加热、冷却和拉伸样品台进行动态测试,并观察不同环境条件下的相变和形态变化。缺点:大部分电子扫描显微镜抗污染能力较低,需要提供真空系统和电源稳压系统。基本功能和用途:二次电子图像,背散射电子图像,图像处理和分析,可以做各种事情。

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7、 扫描电子显微镜的 原理结构

扫描电子显微镜有一束由三极管电子枪发射的电子束,经栅极静电聚焦,成为直径50 mm的电光源..在230KV的加速电压下,电子束通过23个电磁透镜组成的电子光学系统,会聚成孔径角较小、束斑为510mm的电子束,聚焦在样品表面。最后一个透镜装有扫描 coil,在其作用下,电子束在样品表面扫描。高能电子束与样品物质相互作用,产生二次电子、背反射电子、X射线和其他信号。

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因为流过扫描线圈的电流与显像管相应偏转线圈上的电流同步,所以从样品表面任何一点发出的信号都对应显像管屏幕上相应的亮点。也就是说,当电子束击中样品上的一点时,荧光屏上会出现一个亮点,其亮度与激发的电子能量成正比。换句话说,扫描 电镜是通过逐点成像的图像分解方法进行的。光斑成像的顺序是从左上到右下,直到最后一行右下的像素扫描结束,也就是一帧图像完成。

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8、 扫描 电镜

扫描电子显微镜(SEM)是1965年后迅速发展起来的一种新型电子仪器。其主要特点可以概括为:①仪器的高分辨率;②仪器的放大范围大,一般可达15 ~倍,并可在此范围内连续调节;③图像景深大,富有立体感;(4)样品制备简单,不会破坏样品;⑤在扫描电镜上安装必要的专用附件能谱仪(EDX ),实现一机多用。在观察形态图像的同时,还可以分析样品微区的成分。

图1321是其前两部分/框图。光电部分只有聚焦透镜,它们的功能由信号接收、处理和显示系统完成,图1321SEM的SEM基本结构图In 扫描 电镜,电子枪发出的电子束经三个电磁透镜聚焦形成直径为20μ m ~ 25的电子束。放置在末级透镜上部的扫描线圈可以使样品表面的电子束光栅扫描,在电子束的作用下,样品激发出各种信号,信号的强度取决于样品的表面形貌、激发区的成分和晶体取向。

文章TAG:电镜扫描sem原理结构sem扫描电镜工作原理

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